半导体中高纯气氦沉阳气的泄漏检测

沉阳气体高纯气体氦气用于半导体中的泄漏检测。为了防止诸如半导体器件和集成电路之类的部件的表面由于诸如污水和蒸气之类的杂质而劣化，必须使用管和壳进行密封。然而，由于各种原因，在外壳或引线接头的密封处，经常有肉眼难以发现的小孔。组件包装后，需要采取一些方法来检测这些小孔的存在。 。氦气泄漏检测是使用氦气检查电子元件包装中的小孔。由于氦原子的尺寸非常小，因此很容易穿过小孔进入壳体内部。因此，这种检测方法可以检测到小尺寸的小孔（即，可以检测到大约10的泄漏率）。 11〜10？ 12cm3 /秒的小孔），灵敏度可与放射性泄漏检测方法媲美，但比放射性泄漏检测方法简单。氦气泄漏测试的方法：首先将包装好的组件放入装有氦气的容器中并对其加压，让氦气通过一个小孔进入管壳，然后将其取出并用压缩空气吹吹管壳。然后用质谱仪检测氦气从外壳外部泄漏。沉阳煤气