高纯氢中微量烃污染的分析与测定方法

高纯氢气广泛用于电子工业，石油化工，金属冶炼，国防前沿和科研等领域。也可用作制备标准气体的原料气和色谱用载气。 。随着科学技术的飞速发展，科学实验和工业产品的生产，特别是某些高科技产品，例如超大型集成电路和光电产品，要求严格控制氢的纯度及其杂质含量，要求将O2，H2O，HTC（总烃），CO，CO2等杂质提纯至10-9-10-12，用于有色金属的冶炼加工，硅钢，带钢的生产，精密合金和浮法玻璃都需要使用纯度约为99.999％的氢气，天然气工业中的气体分析和气体净化需要纯氢气。目前，工业化生产的大部分工业氢气都应经过化学处理，以满足各行各业的需要。氢的纯化方法主要包括化学吸收法，催化反应法，选择性吸附法和膜分离法。测定总烃的方法和原理在气相色谱分析和检测过程中，气相色谱仪对所用气体的纯度有更高的要求。为了满足工作要求并延长仪器的使用寿命，所用气体的纯度应等于或略高于仪器自身对气体纯度的要求，否则，如果不满足要求的低纯度气体使用该要求，将导致一系列不利影响。另外，在硅外延期间，氢气与加热的硅衬底的表面上的四氯化硅或三氯化硅反应，还原硅并将其沉积在硅衬底上以形成外延层。在上述过程中，氢的纯度非常高。如果烃含量太高，则会生成碳化硅，从而在外延层中引起星形缺陷。因此，有必要对高纯度氢中所含的总烃进行有针对性的监测。中国国家标准推荐的气体中总烃的测定方法是叉车火焰电离法，目前大多数实验室都在使用。此方法的工作原理：样品进入电离室后，在氢火焰的高温下被电离以生成阳离子。由于离子数量与被测组分的含量成正比，因此可以通过工作站（或记录仪）确定并记录其含量。相应组分的色谱峰。火焰电离检测器上总碳氢化合物的响应信号是各种碳氢化合物信号的总和。到目前为止，除了食品级二氧化碳的国家标准（该标准规定以甲烷计算总碳氢化合物）外，还没有统一的基准来衡量其他气体中的总碳氢化合物。此处，甲烷也用作参考物质，分析结果以甲烷计算。氢气是易燃的压缩气体。存放在阴凉通风的仓库中。仓库中的温度不应超过30℃。远离火和热。防止阳光直射。应与氧气，压缩空气，卤素（氟，氯，溴），氧化剂等分开存放。避免混合存放和运输。储藏室的照明，通风和其他设施应防爆。交换机应位于仓库外部，并配备相应品种和数量的消防设备。禁止使用容易产生火花的机械设备和工具。在验收期间，请注意产品名称和瓶子检查的日期。先使用高级仓库。在搬运过程中要轻拿轻放，以免损坏气缸和配件。