沉阳液化气工业气体在医疗保健中的应用

（1）沉阳液态气体可燃气体是指自发，可燃，可燃气体。例如，室温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧。当环境温度达到一定水平时，PH3和B2H6等气体也会自燃。可燃气体均具有一定的着火和爆炸范围，即上限和下限。气体范围越大，爆炸和燃烧的危险就越大。例如，B2H6的爆炸上限为98％，爆炸下限为0.9％。易燃气体是H2，NH3，PH3，DCS，ClF3。 （2）有毒气体：半导体制造业中使用的许多气体对人体有害和有毒。其中，AsH3，B2H6，PH3等气体毒性最高，其阈限值TLV（ThresholdLimitedValve）仅为50×10-9、100×10-9、300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极小，因此在存储，运输和使用过程中需要特别注意。通常，应采取特定的技术措施来控制这些气体的使用。 NO，C4F6，C5F8，NF3，CH3F等都是有毒气体。 （3）腐蚀性气体：这些腐蚀性气体通常也具有剧毒。腐蚀性气体通常在干燥状态下不易腐蚀金属，但在水，例如HCl，HF，PCl3，SiF4，ClF3，WF6等存在的情况下，它显示出强腐蚀性。 （4）惰性气体（InertGas）：惰性气体本身一般不会直接伤害人体。在气体传输过程中，安全要求并不比其他气体严格。然而，惰性气体具有令人窒息的性质。如果在密闭空间中发生泄漏，可能会导致窒息并引起工作事故。属于此类的气体为C2F6，CF4，SF6，CHF3等。 （5）氧化气体（OxideGas）：这种气体具有很强的氧化性，通常具有毒性或腐蚀性等其他特性。属于此类的气体包括ClF3，Cl2，NF3等。不锈钢管件是用于输送各种工艺气体，尤其是一些剧毒，易燃和易爆危险气体的主要管件。因此，在上述不同材料中，不锈钢管件的生产和构造要求最为严格。一般来说，要输送P级要求（×10-9）的工艺气体，需要使用SUS316 EP（电子抛光）管。对于一般的非工艺气体输送，使用由SUS316制成的BA（BrightAnneal）管。作为低碳含量的不锈钢材料，SUS316不仅具有良好的耐腐蚀性能，而且还具有良好的耐蚀性。由于BA管的生产经历了溶解，轧制（热/冷轧），焊接（压延），热处理（热处理）和抛光（抛光）等复杂过程，其表面粗糙度Rmax≤4.5mm。除了对EP管进行表面研磨和其他工艺外，还应用了电解研磨和精密清洁技术。其Rmax≤0.7mm[3]。在安装燃气管件时，应尽可能连续且无连接地进行施工。这样可以减少使用的接头数量，并减少潜在的气体泄漏风险。配件和配件之间的连接最好通过轨道焊接进行连接。对于不锈钢焊接，使用氩弧焊，并将纯度相同的氩气送入焊接管中。这样可以保证连接的质量，并防止由于焊接不当而造成的管道内壁积碳，从而造成燃气管道的污染。配件与各种配件之间的连接必须采用金属对金属的端面密封。 VCR和世伟洛克（Swagelok）是在普通晶圆厂中用于气体管道连接的两个常用接头。具体选择形式应根据生产过程中对高纯气体的要求和气体本身的特性来选择。通常，VCR型接头主要用于传输过程气体和危险气体。连接管道后，接头处的垫圈将变形，以确保管道每秒泄漏的氦气少于10-9cc。比率（LeakageRate）[4]。但是，当连接时，应避免由于拧得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形，从而导致连接不良或气体泄漏。世伟洛克接头通常用于传输惰性气体，氮气和CDA。由于这些气体可以承受一定的泄漏率，因此通常不使用昂贵且需要焊接的VCR型接头。通常，管道配件的安装原理是尽可能减少管道配件的长度，尽可能减少接头和阀门的数量，因为大多数危险气体的泄漏发生在不合适的接头和阀门的接头处。危险气体的特殊事项作为半导体晶圆铸造气体的使用者，每个工人在使用前应了解各种危险气体的安全数据，并应知道当这些气体泄漏时如何应对紧急情况。程序。通常，我们将提供三重保证，以防止危险气体意外释放到工作环境中。一个是特殊气体的气瓶，所有通过正负压泄漏检测的输气管道，第二个是连续排气排气系统（Exhaust），气瓶柜，VMB和工作台等管路节点都是具有强大的排气系统，可确保每个管节点的外围处于负压环境中。如果有少量的有毒气体泄漏，排气系统将在第一时间抽出，另一个非常重要的是在排气口或环境点处的有毒气体检测系统，如果发生有毒气体泄漏，气体将被排出。由检测系统检测到，此控制系统将根据气体泄漏对人体造成的危害程度，确定整个气体输送系统的相关联锁动作。在严重情况下，所有上游气源将被紧急关闭，中央控制室和现场将被开动。相关的警报系统LAU甚至会驱动整个工厂的自动语音广播系统，以通知立即疏散，要求相关人员人员迅速撤离报警区域。因此，只要工程技术人员严格按照既定的标准操作程序进行操作，所有这些安全装置都将确保人员没有安全隐患。沉阳液化气