电子气体（Electronicgases）

物化性质：电子气体（Electronic gas）：气体工业术语，半导体工业中使用的气体统称为电子气体。根据其类别，它可以分为三类：纯气体，高纯度气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯度气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的重要分支。根据其纯度等级和用途，电子气体可分为电子等级，LSI（大型集成电路）等级，VLSI（超大规模集成电路）等级和ULSI（超大规模集成电路）等级。