高纯气体氖的分析标准和分析仪器

随着现代微电子工业的不断发展，市场对高纯度气体氖的纯度要求也越来越高，达到99.99％。目前，国内霓虹灯标准仅为GB / T 17873-1999“纯霓虹灯”，霓虹灯的最高纯度为99.995％。世界上没有高纯度氖气的统一标准，但是一些大型外国公司，例如美国API和德国Messer，都有自己的技术指标。工业上通过液体氖冷凝法分离出高纯度氖气，但由于氖气和氦气的沸点非常接近，它们分别为-245.9和-268.9℃。氖气的沸点低于氮气，因此产生的氖气将包含痕量的氦。由于两者的物理和化学性质相似，因此在工业生产中一直检测到工业中高纯度气体氖气中痕量氦的分析。难。针对这些问题，需要探索一种新的检测方法来确定氖中痕量的氦[2-7]。在这项研究中，使用氖气作为气体，并使用一系列标准气体作为回归曲线的样本。直线的截距值是载气中的氦气量。高纯气体氖气实验仪和样品标准物质实验选择了GC-122气相色谱仪，上海仪器分析总厂，导热系数检测器，色谱工作站，N2000，浙江大学智能信息工程研究所。色谱柱使用直径为3mm，长度为3m的5A分子筛和六通采样阀。日本岛津的GC-14B和GC-14C气相色谱仪，N3000色谱工作站。气体分离的原理是：由于性质不同，气态物质分子在色谱柱分子筛上的吸附和解吸能力也不同。通过在色谱柱上的连续操作，柱中气态分子的移动距离缓慢变化。最终彼此分离，通过TCD检测器检测了不同气体的保留时间和峰面积。