离子注入气体（离子注入气体）
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/02/17 0:52:17 * 浏览: 68
离子注入气体（GasesforIonImplantation）：离子注入将P +，B +，As +等离子化杂质加速到高能态，然后将其注入到预定的衬底上。离子注入是控制Vth（阈值电压）的最广泛使用的方法。可以通过测量离子电流来获得注入的杂质。离子注入过程中使用的气体称为离子注入气体，并且存在磷基，硼基和砷基气体。
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