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电子级高纯度气体视觉和气瓶处理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/07/11 0:37:17 * 浏览: 4
近年来,甚至在未来,光电子,光伏太阳能和集成电路等新材料技术领域也将迅速发展。这些技术的发展将对高纯度气体和混合气体有巨大的需求。如果没有高质量的超纯和超净,Gas保证您将无法谈论任何事情。由于许多超纯电子气体具有易燃,易爆,有毒和有害等化学特性,为易于使用,因此它们在半导体制造过程中几乎全部被稀释。按一定比例稀释的气体称为“电子混合气体”。电子混合气体在计量方面与标准气体具有许多相似的特性,但存在许多差异。除了确保电子混合气体的浓度的高精度外,气体还必须具有优异的质量。换句话说,电子混合气体必须确保混合气体中所含的有害杂质不超过一定值。对于8英寸(200毫米)以上的集成电路生产线,还应控制和设置混合气体中包含的颗粒物。发达国家对电子级高纯气体和电子混合气有一定的标准,但中国在该领域仍然空白,因此国内对电子混合气的市场需求在“质量”和“数量”方面都很高。有必要讨论电子混合气的制备及其他相关技术。尽管清洗后的气瓶内表面光滑,但颗粒,露点和氧含量均符合要求,也就是说,气瓶不会对所含气体造成污染,但对于低含量的电子混合气体(例如SiH450× 10-6-H2,PH3(1000±30)×10-6-H2,BCl3(1±0.03)%-N2型化学混合物,还需要对成分的稳定性进行一系列研究,否则很容易产生内表面“吸附”会导致成分含量降低,甚至完全“被吞噬”,每种成分使用的内标处理方法不同。电子高纯气体的填充压力是用户和供应商非常关心的问题。发达国家有明确的规定。气瓶中气体的压力(在一定温度下),明确规定了混合气体的体积,例如日本PH30.8%-He混合气体的“充装压力(35℃):14.7 MPa,充装容积:7.0m3(35°C)”,目前中国混合气的充装压力基本上由供需双方协商确定,即使供气商达到国际标准压力,但我们的气瓶仍在工作压力3.原始气体的压力很难达到。目前,也许是由于瓶装工业气体的价格低廉,北部和其他地区的瓶装高纯氮气压力仅为11.0MPa。由于市场竞争,甚至有些外国公司也盲目地降低了加气压力。这种恶性循环导致了中国的瓦解。市场形势变得越来越混乱,政府部门的无所作为使这种行为恶化了。因此,如何实现国际标准或准则的有效整合是政府应解决的主要问题。所有这些的出发点是制定和修订我国气瓶工作压力的国家标准。南京高纯煤气