电子气体（电子气体）

物理和化学性质：电子气体（Electronicgases）：气体工业术语，半导体工业中使用的气体统称为电子气体。按其类别可分为三类：纯气体，高纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯度气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的重要分支。根据纯度等级和使用场合，电子气可以分为电子级，LSI（大型集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路）级和ULSI（超大规模集成电路）级。