高纯气体氖的分析标准及分析仪器

随着现代微电子工业的不断发展，市场对高纯度气体氖的纯度要求越来越高，达到了99.99％。目前，国内氖气标准仅为GB / T“ 17873-1999”“纯氖气”，最高氖气纯度为99.995％。但是，世界上没有高纯度霓虹灯的统一标准，但是一些大型的外国公司，例如美国的API和德国的Messer，都有自己的技术指标。在工业上，液体氖冷凝法用于分离高纯度氖气，但是由于氖气和氦气的沸点非常接近，它们分别为-245.9和-268.9°C。氖气的沸点低于氮气的沸点，因此产生的氖气将含有微量的氦。由于两者的物理和化学性质相似，因此在工业生产中已检测到高纯气体氖气中痕量氦的分析。困难。针对这些问题，需要探索一种新的检测方法来确定氖气中的痕量氦[2-7]。在本研究中，使用氖气作为气体，并使用一系列标准气体作为样品绘制回归曲线，直线的截距值为载气中的氦气量。高纯气体氖实验仪器和样品参考物质实验选择了GC-122气相色谱仪，上海仪器分析总厂，热导检测器（TCD），色谱工作站，N2000，浙江大学智能信息工程学院。色谱柱使用直径为3mm，长度为3m的5A分子筛和六通进样阀。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C气相色谱仪，N3000色谱工作站。气体分离的原理是：由于性质不同，气态物质分子在色谱柱分子筛上的吸附-脱附能力也不同。随着在色谱柱上的连续操作，柱中气态分子的移动距离逐渐变化。最终彼此分离，通过TCD检测器检测不同气体的保留时间和峰面积。