高纯氢中微量烃污染的分析与测定方法

高纯氢气广泛用于电子行业，石化行业，金属冶炼，国防和科研部门。它也可用作制备标准气体的原料气和色谱法的载气。随着科学技术，科学实验和工业产品的快速发展，特别是一些超大型集成电路，光电产品等高科技产品，需要严格控制氢气的纯度和杂质含量。并要求将O2，H2O，HTC（总烃），CO，CO2等杂质净化至10-9-10-12，用于有色金属，硅钢，带钢，精密合金和浮法玻璃等都需要使用纯度约为99.999％的氢气，在天然气工业中，纯氢气用于气体分析和气体精制。目前，工业化生产的大部分工业氢气都应进行化学处理以满足各种行业的需求。氢的纯化方法主要包括化学吸收法，催化反应法，选择性吸附法和膜分离法。测定总烃的方法和原理在气相色谱分析和检测过程中，气相色谱仪对所用气体的纯度有更高的要求。为了满足工作要求并延长仪器的使用寿命，所用气体的纯度必须等于或略高于仪器对气体纯度的要求，否则，请使用不符合要求的低纯度气体要求将导致一系列不利影响。另外，在硅外延工程时代，氢与加热的硅基板的表面上的四氯化硅或三氯硅醇反应，硅被还原并沉积在硅基板上以形成外延层。上述方法对氢的纯度有很高的要求。如果其包含过高的烃，则会形成碳化硅，从而在外延层中引起星形缺陷。因此，应该将高纯度氢中所含的总烃作为监测目标。中国国家标准推荐的测定气体中总烃的方法是叉车火焰电离法。目前，大多数实验室都使用这种方法。该方法的工作原理：样品进入电离室后，在氢火焰的高温下被电离产生阳离子。由于离子的数量与被测组分的含量成正比，因此可以通过工作站（或记录仪）确定并记录其含量。相应组分的色谱峰。火焰电离检测器上总碳氢化合物的响应信号是多种碳氢化合物信号的总和。到目前为止，除了食品级二氧化碳的国家标准外，总碳氢化合物也算作甲烷，其他气体中的总碳氢化合物也没有统一的基准。此处，甲烷也用作参考物质，分析结果以甲烷测量。氢气是易燃的压缩气体。存放在阴凉通风的仓库中。仓库中的温度不应超过30°C。远离火源和热源。避免阳光直射。应与氧气，压缩空气，卤素（氟，氯，溴），氧化剂等分开存放。切勿混储和运输。储藏室的照明，通风和其他设施应防爆。交换机位于仓库外部，并配备有相应数量和数量的消防设备。禁止使用易燃火花的机械设备工具。检查时请注意产品名称，注意检查日期，并先使用高级仓库。运输过程中要轻装轻卸，以免损坏气缸和附件。